半導(dǎo)體制造工藝

半導(dǎo)體器件是通過在稱為晶圓的高純度單晶結(jié)構(gòu)硅襯底上重復(fù)使用微細(xì)加工技術(shù)制成的。菲科作為半導(dǎo)體制造設(shè)備中晶圓搬運(yùn)設(shè)備、工藝間晶圓搬運(yùn)設(shè)備和儲(chǔ)料器搬運(yùn)設(shè)備的專業(yè)制造商，支持先進(jìn)設(shè)備的300mm晶圓和物聯(lián)網(wǎng)?車載的200mm晶圓的制造工藝?yán)谩?/p> 了解更多

半導(dǎo)體設(shè)備制造工藝

在半導(dǎo)體形成中，也是是制造設(shè)備生產(chǎn)的過程。菲科利用機(jī)器人的頂級(jí)技術(shù)生產(chǎn)半導(dǎo)體制造設(shè)備并交付給著名設(shè)備制造商。由于機(jī)器人具有晶圓映射功能，因此可以檢測(cè)OPEN載體側(cè)的晶圓負(fù)載。目前有搬運(yùn)設(shè)備運(yùn)行20余年，運(yùn)行正常，無金屬污染，無顆粒物增加。支持半導(dǎo)體的高功能性和高性能。

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面向節(jié)能領(lǐng)域的半導(dǎo)體搬運(yùn)方案

PHT株式會(huì)社作為晶圓自動(dòng)剝離設(shè)備行業(yè)的領(lǐng)先企業(yè)，依托在硅晶圓搬運(yùn)與激光加工技術(shù)的優(yōu)勢(shì)，專注于SiC、GaN等化合物半導(dǎo)體搬運(yùn)解決方案，提供潔凈機(jī)器人、搬運(yùn)系統(tǒng)及清洗設(shè)備。近年來聚焦節(jié)能減排領(lǐng)域，積極拓展功率半導(dǎo)體市場(chǎng)，致力成為全球領(lǐng)先的綜合設(shè)備服務(wù)商。

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